顯微鏡資訊:電子器件芯片焊接檢驗(yàn)用偏光顯微鏡
電子器件芯片焊接檢驗(yàn)用偏光顯微鏡
對(duì)于分立器件或中小型集成電路(一般一個(gè)芯片上有1000個(gè)元件),首先要畫出一套大的掩膜組合配置圖,其尺寸是*終尺寸的一百倍到幾千倍。生物顯微鏡用來觀察生物切片、生物細(xì)胞、細(xì)菌以及活體組織培養(yǎng)、流質(zhì)沉淀等的觀察和研究,同時(shí)可以觀察其他透明或者半透明物體以及粉末、細(xì)小顆粒等物體。左圖所示為生產(chǎn)的倒置生物顯微鏡型,該生物顯微鏡也是食品廠、飲用水廠辦QS、HACCP認(rèn)證的必備檢驗(yàn)設(shè)備。偏光顯微鏡用于研究所謂透明與不透明各向異性材料的一種顯微鏡。這種顯微鏡的載物臺(tái)是可以旋轉(zhuǎn)的,當(dāng)載物臺(tái)上放入單折射的物質(zhì)時(shí),無論如何旋轉(zhuǎn)載物臺(tái),由于兩個(gè)偏振片是垂直的,顯微鏡里看不到光線,而放入雙折射性物質(zhì)時(shí),由于光線通過這類物質(zhì)時(shí)發(fā)生偏轉(zhuǎn),因此旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)便能檢測(cè)到這種物體。體視顯微鏡一臺(tái)儀器。指從不同角度觀察物體,使雙眼引起立體感覺的雙目顯微鏡。然后將組合后的配置圖按照IC的每個(gè)工藝步驟分解成各個(gè)掩膜層,比如一層上的隔離區(qū),另一層上的金屬化區(qū)等等。每一張掩膜級(jí)別圖都要仔細(xì)畫。使用縮小相機(jī)將帶有刻度線的玻璃板上的數(shù)字縮小10倍。*終的掩模由10倍比例的線條圖案通過投影印刷設(shè)備制成。對(duì)應(yīng)于特定掩模的幾何信息通過圖形編輯系統(tǒng)輸入到計(jì)算機(jī)中。幾何圖形被分解成幾個(gè)尺寸固定的矩形區(qū)域。分解的掩模數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在磁帶上并被傳輸?shù)窖谀V圃煺?。將刻有刻度線的掩模板放在定位臺(tái)上,掩模板由涂有遮光材料(如鉻)和光刻膠的玻璃板制成。設(shè)備讀出磁帶,從而確定定位臺(tái)的位置和快門孔徑的大小。